Nebatên oksîjenê di serî de oksîjenê bi karanîna awayê veqetandina hewaya krîogenîk hilberînin, pêvajoya taybetî ya ku wiha ye:
Pêş-dermankirina hewayê: Hewa tê fîltrekirin da ku toz û nepaqijiyan rake, û dûv re ji hêla kompresorê ve tê zext kirin.
Sarkirin û şilbûn: Hewa bi zextê bi karanîna yekîneya sarincê heya rewşek şil tê sar kirin.
Veqetandina distilasyonê: Di stûnek distilasyonê de, bi karanîna cûdahiya xala kelînê ya di navbera oksîjenê (nîqteya kelandinê -183 derece) û nîtrojenê (nîqteya kelandinê -196 derece) de, nîtrojen bi germkirin û distilasyonê ve tê vaporkirin û veqetandin, bi giranî oksîjena şil dimîne.
Komkirina hilberan: Piştî vaporkirinê, oksîjena şil oksîjena paqijiya bilind a xwestinê dide, bi gelemperî bi paqijiya 99,6%.
Ev rêbaz guhertinên laşî bikar tîne da ku oksîjen û nîtrojenê veqetîne. Materyalên xav bi berfirehî berdest in û erzan in, ku ew ji bo hilberîna pîşesaziyê ya mezin-guncan e. Digel vê yekê, rêbazên din ên hilberîna oksîjenê hene, wek mînak dorpêkirina sivikê molekulî û elektrolîza avê, lê rêbaza veqetandina hewaya krîogenîk rêbaza bingehîn e ku di pîşesaziyê de tê bikar anîn.